Contrôle de l'environnement des salles blanches
Les semi-conducteurs et leurs processus de fabrication sont très sensibles aux niveaux d'humidité. Des niveaux d'humidité insuffisants, excessifs ou irréguliers peuvent causer des dommages et des défauts. Il est donc nécessaire de contrôler parfaitement les conditions de l'air intérieur.
Maintenir des conditions optimales
Tous les processus de fabrication des semi-conducteurs doivent être étroitement contrôlés et se déroulent donc presque toujours dans un environnement de salle blanche. Le contrôle précis de l'humidité par rapport à un point de consigne et la stabilité sur une période donnée constituent une exigence fondamentale.
Réduire les défaillances
Une défaillance à n'importe quel stade de la fabrication des semi-conducteurs peut coûter extrêmement cher. Le contrôle de l'humidité est absolument nécessaire pour garantir des environnements de production cohérents et reproductibles.
Qualité absolue
L'industrie des semi-conducteurs repose sur des produits, des matériaux et des processus de la plus haute qualité. Le contrôle de l'humidité en est un élément essentiel.
Contrôle de l'humidité dans la fabrication des semi-conducteurs
Empêcher les changements dimensionnels du photorésist
Le photorésist est un matériau sensible à la lumière utilisé dans le processus de photolithographie lors de la fabrication de semi-conducteurs. Son objectif principal est de transférer des motifs de circuits complexes sur une plaquette de silicium, ce qui est essentiel pour créer des circuits intégrés et des micropuces. Ceux-ci sont souvent appelés « pistes ». Une précision totale est requise, car les mesures sont effectuées en nanomètres. Des normes extrêmement strictes en matière de contrôle de la température et de l'humidité sont requises, car tout changement de forme ou de taille du photorésist détruirait le semi-conducteur.
Humidification : la solution idéale pour éliminer les décharges électrostatiques
L'ESD se produit lorsque deux objets chargés électriquement entrent en contact et qu'un flux soudain d'électricité se produit entre eux. Lorsque des objets de charges différentes entrent en contact ou lorsque le diélectrique entre eux se rompt, une étincelle visible peut se produire. Cela endommage le semi-conducteur et peut poser des problèmes de sécurité pour le fonctionnement des installations. Les humidificateurs ajoutent de l'humidité à l'air, qui sert de conducteur naturel pour dissiper les charges électriques. Lorsque l'humidité descend en dessous de 45 % HR, également appelée seuil statique, cette protection disparaît et les activités normales des employés peuvent entraîner des dommages aux objets dus à des décharges d'électricité statique.
Amélioration de la qualité de l'air intérieur et du confort des employés
L'humidification et le contrôle de la température sont essentiels pour la santé et la satisfaction des employés. Des employés heureux et en bonne santé sont plus productifs. Condair propose des solutions d'humidification adiabatique et par Évaporation qui non seulement humidifient l'air, mais contribuent également à réduire la température intérieure de manière rentable et efficace.
Solutions personnalisées pour des processus uniques
Les processus et les exigences de production peuvent varier considérablement d'un endroit à l'autre en raison de la variabilité des conditions ambiantes. Il est donc essentiel de travailler avec un partenaire qui dispose d'un portefeuille diversifié de solutions pouvant être adaptées précisément aux exigences de chaque application individuelle. Une exigence particulière concerne la tolérance de contrôle, souvent axée sur la stabilité de l'humidité dans le temps. Il peut y avoir une constante de temps pendant laquelle la variabilité est autorisée. Elle peut être, par exemple, de +/- 2 % HR sur une période de 45 minutes, ce qui signifie que le passage du point de consigne à + 2 % HR, puis de nouveau au point de consigne, puis à - 2 % HR et enfin de nouveau au point de consigne, ne doit pas être plus rapide que 45 minutes. Condair propose de nombreuses solutions pour les applications de contrôle de très haute précision, notamment une large gamme d'humidificateurs, de déshumidificateurs et d'installations de Traitement de l'eau par Osmose inverse.
Cas d'utilisation
Antistatique et prévention ESD
Une faible humidité augmente l'accumulation d'électricité statique, car l'air sec est un isolant, ce qui rend les décharges électrostatiques (ESD) plus probables. Le maintien d'une humidité relative comprise entre 40 et 60 % aide à dissiper les charges et réduit considérablement le risque d'ESD.
La fiabilité des opérations commence par un environnement contrôlé
Les fluctuations d'humidité peuvent provoquer des décharges électrostatiques, une déformation des matériaux et une usure prématurée des équipements sensibles, ce qui entraîne des temps d'arrêt coûteux. En maintenant un taux d'humidité constant, elle protège à la fois les machines et les matériaux qu'elles traitent, garantissant ainsi une production plus fluide, moins d'interruptions et une disponibilité opérationnelle maximale.
Refroidissement par évaporation intérieur avec humidification
Le refroidissement adiabatique par évaporation avec humidification supplémentaire de l'air abaisse la température ambiante, économise de l'énergie et améliore le climat intérieur – idéal pour les environnements industriels, les bureaux et les centres de données.
Foire aux questions
Pourquoi le contrôle de l'humidité est-il important dans la fabrication des semi-conducteurs ?
Quel est le niveau d'humidité idéal pour les environnements de semi-conducteurs ?
Quel est l'impact du contrôle de l'humidité sur les normes relatives aux salles blanches ?
Quelles tolérances de précision peuvent être atteintes en matière de contrôle de l'humidité ?
Quels types d'humidificateurs et de déshumidificateurs conviennent aux installations de fabrication de semi-conducteurs ?
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