Contrôle précis de l'humidité dans la fabrication des semi-conducteurs

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Contrôle de l'environnement des salles blanches

Les semi-conducteurs et leurs processus de fabrication sont très sensibles aux niveaux d'humidité. Des niveaux d'humidité insuffisants, excessifs ou irréguliers peuvent causer des dommages et des défauts. Il est donc nécessaire de contrôler parfaitement les conditions de l'air intérieur.

Maintenir des conditions optimales

Tous les processus de fabrication des semi-conducteurs doivent être étroitement contrôlés et se déroulent donc presque toujours dans un environnement de salle blanche. Le contrôle précis de l'humidité par rapport à un point de consigne et la stabilité sur une période donnée constituent une exigence fondamentale.

Réduire les défaillances

Une défaillance à n'importe quel stade de la fabrication des semi-conducteurs peut coûter extrêmement cher. Le contrôle de l'humidité est absolument nécessaire pour garantir des environnements de production cohérents et reproductibles.

Qualité absolue

L'industrie des semi-conducteurs repose sur des produits, des matériaux et des processus de la plus haute qualité. Le contrôle de l'humidité en est un élément essentiel.

Contrôle de l'humidité dans la fabrication des semi-conducteurs

Haut de la page Avantages Cas d'utilisation Références FAQ

Empêcher les changements dimensionnels du photorésist

Le photorésist est un matériau sensible à la lumière utilisé dans le processus de photolithographie lors de la fabrication de semi-conducteurs. Son objectif principal est de transférer des motifs de circuits complexes sur une plaquette de silicium, ce qui est essentiel pour créer des circuits intégrés et des micropuces. Ceux-ci sont souvent appelés « pistes ». Une précision totale est requise, car les mesures sont effectuées en nanomètres. Des normes extrêmement strictes en matière de contrôle de la température et de l'humidité sont requises, car tout changement de forme ou de taille du photorésist détruirait le semi-conducteur.

Humidification : la solution idéale pour éliminer les décharges électrostatiques

L'ESD se produit lorsque deux objets chargés électriquement entrent en contact et qu'un flux soudain d'électricité se produit entre eux. Lorsque des objets de charges différentes entrent en contact ou lorsque le diélectrique entre eux se rompt, une étincelle visible peut se produire. Cela endommage le semi-conducteur et peut poser des problèmes de sécurité pour le fonctionnement des installations. Les humidificateurs ajoutent de l'humidité à l'air, qui sert de conducteur naturel pour dissiper les charges électriques. Lorsque l'humidité descend en dessous de 45 % HR, également appelée seuil statique, cette protection disparaît et les activités normales des employés peuvent entraîner des dommages aux objets dus à des décharges d'électricité statique.

Amélioration de la qualité de l'air intérieur et du confort des employés

L'humidification et le contrôle de la température sont essentiels pour la santé et la satisfaction des employés. Des employés heureux et en bonne santé sont plus productifs. Condair propose des solutions d'humidification adiabatique et par Évaporation qui non seulement humidifient l'air, mais contribuent également à réduire la température intérieure de manière rentable et efficace.

Solutions personnalisées pour des processus uniques

Les processus et les exigences de production peuvent varier considérablement d'un endroit à l'autre en raison de la variabilité des conditions ambiantes. Il est donc essentiel de travailler avec un partenaire qui dispose d'un portefeuille diversifié de solutions pouvant être adaptées précisément aux exigences de chaque application individuelle. Une exigence particulière concerne la tolérance de contrôle, souvent axée sur la stabilité de l'humidité dans le temps. Il peut y avoir une constante de temps pendant laquelle la variabilité est autorisée. Elle peut être, par exemple, de +/- 2 % HR sur une période de 45 minutes, ce qui signifie que le passage du point de consigne à + 2 % HR, puis de nouveau au point de consigne, puis à - 2 % HR et enfin de nouveau au point de consigne, ne doit pas être plus rapide que 45 minutes. Condair propose de nombreuses solutions pour les applications de contrôle de très haute précision, notamment une large gamme d'humidificateurs, de déshumidificateurs et d'installations de Traitement de l'eau par Osmose inverse.

Cas d'utilisation

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Projects and References

Asteelflash Hersfeld GmbH, Bad Hersfeld (Allemagne)

Afin de se protéger contre les décharges électrostatiques, d'assurer la qualité et de préserver la santé de ses employés, Asteelflash utilise des systèmes d'humidification dans ses locaux pour l'assemblage de ses circuits imprimés.

Ce que disent nos clients

Asteelflash Hersfeld GmbH, Bad Hersfeld (Allemagne)

Félix Timmermann

Directeur général pour la région EEMEA

« Nous voulons offrir à nos clients les meilleures conditions de production. Le contrôle de la température et de l'humidité est d'une importance capitale pour la protection ESD, le processus d'assemblage, les processus de collage et de peinture, ainsi que les tests électriques. »

Hella GmbH & Co. KGaA, Recklinghausen (Allemagne)

Martin Ennemann

Gestion des installations

« L'humidification de l'air est un facteur stable dans notre assurance qualité, tant pour la protection ESD de notre production que pour la satisfaction de nos employés quant au climat intérieur. »

Foire aux questions

Pourquoi le contrôle de l'humidité est-il important dans la fabrication des semi-conducteurs ?

Les semi-conducteurs sont très sensibles aux décharges électrostatiques (ESD), qui endommagent les composants. Le maintien d'un taux d'humidité adéquat minimise l'accumulation d'électricité statique, réduisant ainsi le risque d'ESD et améliorant la qualité et la sécurité des produits. Il empêche également les changements dimensionnels dans le processus de production, qui sont également une cause potentielle de défaillances.

Quel est le niveau d'humidité idéal pour les environnements de semi-conducteurs ?

Quel est l'impact du contrôle de l'humidité sur les normes relatives aux salles blanches ?

La fabrication des semi-conducteurs s'effectue dans des salles blanches où le contrôle des particules est essentiel. Une humidité excessive peut réduire l'efficacité des filtres HEPA et ULPA jusqu'à 10 % et, dans le pire des cas, endommager les systèmes de filtration, ce qui empêche de respecter les normes de conformité ISO applicables aux salles blanches.

Quelles tolérances de précision peuvent être atteintes en matière de contrôle de l'humidité ?

Quels types d'humidificateurs et de déshumidificateurs conviennent aux installations de fabrication de semi-conducteurs ?

On privilégie généralement les solutions d'humidification isothermiques. Ces systèmes sont conçus pour offrir un contrôle précis de l'humidité, une Efficacité énergétique et un entretien réduit, garantissant ainsi des performances constantes dans des environnements étroitement contrôlés. Pour la déshumidification, on utilise des déshumidificateurs à dessiccant en raison de leur potentiel optimal de contrôle de l'humidité.

Obtenez gratuitement les conseils d'experts

Si vous souhaitez explorer les différentes options qui s'offrent à vous en matière de contrôle de l'humidité, les ingénieurs commerciaux experts de Condair se rendront sur votre site, examineront votre projet et vous présenteront leurs recommandations.

Si vous préférez un entretien téléphonique ou une réunion en ligne, notre équipe se fera un plaisir de discuter avec vous des solutions possibles et de vous offrir des conseils techniques gratuits.

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